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永利总站公司具有自主知識產權的Preciomo Udx® MOCVD設備專為Micro LED量產設計,最多可配置兩個反應腔,可同時加工18片6英寸或者12片8英寸高性能氮化鎵基藍綠光Micro LED外延片。每個反應腔可以獨立控制,具有高度生產靈活性。永利总站公司Preciomo Udx® MOCVD設備采用了水平式雙旋轉反應器結構,具有優異的波長均勻性和產出穩定性;配備集成電路行業標準的EFEM和SMIF系統,可實現片盒到片盒的全自動化傳輸模式,有效降低Micro LED外延片的顆粒數。該設備憑借其優異的波長均勻性、低缺陷密度以及高產出穩定性,滿足了Micro LED量產的嚴苛技術要求。

Preciomo Udx®

為Micro LED新型顯示生產提供的MOCVD外延解決方案

产品特点

用於藍寶石基與矽基氮化鎵Micro LED外延生產的關鍵設備

6"/8”兼容,水平多片式反應器結構

兼具布局緊湊與維護便捷特性

基於模型的溫度控制系統

符合集成電路行業標準的自動化傳輸系統

竞争优势

業界領先的單腔產能

優異的波長和厚度均勻性,低的缺陷密度

片盒到片盒全自動傳片,傳輸效率高

軟件界面友好、操作便捷

滿足客制化需求,支持工廠自動化功能